中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展

展覽時(shí)間：2025.10.22-10.24
舉辦展館：蘇州國際博覽中心
舉辦地址：蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)蘇州大道東688號(hào)
展覽規(guī)模：展覽面積20000㎡平米、觀眾人數(shù)15000名、參展商300家
主辦單位：中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)

蘇州傳感器展門票信息：

門票預(yù)約指南：

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中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展介紹：

中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展 所屬的MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems），是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的21世紀(jì)前沿技術(shù)。隨著技術(shù)的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)的成熟，MEMS已經(jīng)作為一種基本加工工藝和制造理念，滲入到高科技領(lǐng)域及產(chǎn)品的方方面面。在消費(fèi)電子、物聯(lián)網(wǎng)、石油勘探、開采、環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療、生化、汽車工業(yè)、航空航天以及國家安全等領(lǐng)域，MEMS具有巨大的市場(chǎng)需求和國產(chǎn)化需要。

中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展作為中國最專業(yè)、知名度最高、最權(quán)威的微納制造及傳感器展覽會(huì)，CHINA MEMS 取得了極大的成功。專業(yè)觀眾集中在半導(dǎo)體、汽車、電子制造、消費(fèi)類電子、軍工、航空航天、傳感器、物聯(lián)網(wǎng)等多個(gè)領(lǐng)域。國際專業(yè)觀眾來自30個(gè)國際和地區(qū)。全球知名的MEMS應(yīng)用與代工廠商、設(shè)備廠商、MEMS重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室專家及科技部863計(jì)劃微納制造技術(shù)主題專家參加了展出和高層論壇。

在中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)和中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)的共同指導(dǎo)下，聯(lián)合MEMSRIGHT和敏芯微電子等國內(nèi)外MEMS企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)、投資平臺(tái)等，在蘇州定期舉辦China MEMS中國MEMS制造大會(huì)，旨在匯聚全球MEMS制造產(chǎn)業(yè)資源，加強(qiáng)MEMS設(shè)計(jì)、研發(fā)、加工制造、封測(cè)等全產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)，推動(dòng)中國MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的人才集聚、技術(shù)創(chuàng)新、成果轉(zhuǎn)化，加速突破MEMS制造領(lǐng)域發(fā)展瓶頸。

展品范圍：

MEMS 器件：光學(xué)MEMS;射頻MEMS;MEMS物理傳感器(加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器);微 射流(微流引導(dǎo)，微感應(yīng)器等);MEMS執(zhí)行器;MEMS電能(燃料電池，微發(fā)電機(jī)等);高復(fù)合型MEMS(CMOS/MEMSLSI/MEMS 一體化)。

MEMS 代工服務(wù)：仿真設(shè)計(jì)、原型測(cè)試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn);其他代工服務(wù):圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍。

MEMS 應(yīng)用：產(chǎn)品 (麥克風(fēng),顯示等);超微型機(jī)械人裝置、微型工廠等;傳感器網(wǎng)絡(luò);能量收集。

MEMS 加工設(shè)備：薄膜成形(汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍;曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù);防腐處理;刻蝕;晶圓鍵合;切割;芯片1導(dǎo)線焊接;封裝;微成形(注射，熱壓);其他生產(chǎn)設(shè)備。

分析與檢測(cè)儀器：光量缺陷檢測(cè)、封裝檢測(cè)、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng);顯微鏡:光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀;檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機(jī);氣體分析及檢測(cè)、分析和測(cè)量系統(tǒng)。

納米機(jī)械微制程技術(shù)：超精度納米機(jī)械工藝;超精密加工,微制造;表面微加工;精細(xì)鉆孔;微觀切割;雷射、離子脈沖加工;聚焦離子束系統(tǒng);微放電加工;超聲波設(shè)備等。

材料：壓電薄膜材料(ZnO,AIN,PZT)、抗壓材料、附著材料、保護(hù)材料;碳納米管、藍(lán)寶石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材

料、鐵電性材料。

納米壓印技術(shù)：微納米模型;納米壓印生產(chǎn)設(shè)備。

生物技術(shù)與醫(yī)療應(yīng)用：MEMS 在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊;尖端DNA& RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)、生物/化學(xué)MEMS(DNARNA技術(shù)，化學(xué)檢測(cè))等。

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參考資料：

中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展

China MEMS Manufacturing Conference

舉辦地區(qū)：

江蘇 蘇州

舉辦地址：

蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)蘇州大道東688號(hào)

展覽面積：

20000㎡

觀眾數(shù)量：

15000人

所屬行業(yè)：

傳感器展會(huì)