中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展展商名錄
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展覽面積：20000㎡平米 觀眾人數(shù)：15000名 參展商：300家 展覽時間：2025.10.22-10.24 舉辦地址：蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)蘇州大道東688號 舉辦展館：蘇州國際博覽中心 主辦單位：中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展展品范圍：
MEMS 器件：光學(xué)MEMS;射頻MEMS;MEMS物理傳感器(加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器);微 射流(微流引導(dǎo)，微感應(yīng)器等);MEMS執(zhí)行器;MEMS電能(燃料電池，微發(fā)電機等);高復(fù)合型MEMS(CMOS/MEMSLSI/MEMS 一體化)。
MEMS 代工服務(wù)：仿真設(shè)計、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn);其他代工服務(wù):圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍。
MEMS 應(yīng)用：產(chǎn)品 (麥克風(fēng),顯示等);超微型機械人裝置、微型工廠等;傳感器網(wǎng)絡(luò);能量收集。
MEMS 加工設(shè)備：薄膜成形(汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍;曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù);防腐處理;刻蝕;晶圓鍵合;切割;芯片1導(dǎo)線焊接;封裝;微成形(注射，熱壓);其他生產(chǎn)設(shè)備。
分析與檢測儀器：光量缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng);顯微鏡:光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀;檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機;氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)。
納米機械微制程技術(shù)：超精度納米機械工藝;超精密加工,微制造;表面微加工;精細(xì)鉆孔;微觀切割;雷射、離子脈沖加工;聚焦離子束系統(tǒng);微放電加工;超聲波設(shè)備等。
材料：壓電薄膜材料(ZnO,AIN,PZT)、抗壓材料、附著材料、保護材料;碳納米管、藍寶石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材
料、鐵電性材料。
納米壓印技術(shù)：微納米模型;納米壓印生產(chǎn)設(shè)備。
生物技術(shù)與醫(yī)療應(yīng)用：MEMS 在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊;尖端DNA& RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)、生物/化學(xué)MEMS(DNARNA技術(shù)，化學(xué)檢測)等。
參考資料：
China MEMS Manufacturing Conference- 舉辦地址：
- 蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)蘇州大道東688號
- 展覽面積：
- 20000㎡
- 觀眾數(shù)量：
- 15000人
- 所屬行業(yè)：
- 傳感器展會